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MicroWriter ML3 Baby

Durham Magneto Optics

O MicroWriter ML®3 Baby é uma máquina de litografia óptica compacta, de alta performance, de baixo custo e de escrita direta, projetada para oferecer custo-benefício sem precedentes em uma pequena área do laboratório.

Medindo apenas 70 cm x 60 cm em sua base, ele fica sobre uma bancada ou mesa de laboratório padrão e se conecta a um laptop. Seu único requisito é uma tomada padrão. Um invólucro que exclui a luz, com interlock de segurança, permite que seja usado tanto em um ambiente de laboratório aberto quanto em uma sala limpa. O software baseado em Windows® fácil de usar implica que a maioria das exposições podem ser configuradas e iniciadas com apenas alguns cliques do mouse.

Características e Especificações

Área de escrita máxima: 149 mm x 149 mm
Tamanho de wafer máximo: 155 mm x 155 mm x 7 mm
Tamanho mínimo de traço na área total de escrita: 1 µm
Fonte de luz semicondutora de vida longa de 405 nm adequada para resists de banda larga g-line e h-line positivos e negativos (ex. S1800, ECI-3000, MiR 701) Fontes de luz de 385 nm e 365 nm disponíveis para substituição, adequadas para photoresists g-, h- e i-line. (ex. SU-8)
Interferômetro XY com resolução de 15 nm para controle de movimentos preciso.
Velocidade de Escrita: até 50 mm²/minuto (tamanho de traço 1 µm), permitindo que uma área típica de 50 mm x 50 mm seja exposta em 1 hora.
Sistema de foco automático usando luz amarela com laser de rastreio em superfície em tempo real – sem tamanho mínimo de wafer.
Microscópio óptico de alta qualidade com lente planar objetiva 10x Olympus e iluminação de luz amarela para alinhamento aos marcadores litográficos no wafer. (precisão de alinhamento ±2 µm 3σ)
Zoom digital x4 pode ser selecionado no software
Modo de exposição em escala de cinza para padronização tridimensional (255 níveis de cinza)
API de software para controle e interface externos.
Grid endereçável mínimo de 200 nm; resolução de plataforma de amostra de 15 nm.
Formatos de arquivo compatíveis: CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF.
Dimensões externas: 700 mm (l) x 700 mm (c) x 700 mm (a), excluindo o computador.
Invólucro que exclui luz com interlock de segurança.
Projetado para uso em desktop – não requer mesa óptica
Acompanha software de controle baseado em Windows® fácil de usar.
Acompanha software open source para design de máscaras KLayout (klayout.de)
Acompanha PC Windows® 10 64-bit pré-configurado e monitor para instalação plug-and-play.
Acompanha todos os cabos
Preço extremamente competitivo para orçamentos de universidades e de pesquisa e desenvolvimento industrial.
Pode ser atualizado posteriormente ao MicroWriter ML®3 Baby Plus, Mesa ou Pro para melhor performance.
Certificação CE e em conformidade com EN-61010
Requerimento de energia monofásica 4A, 90-260 VAC, 50-60Hz